Основният принцип на високо{0}}прецизните сензори се крие в преобразуването на измереното количество в прецизен, стабилен и надежден електрически сигнал чрез прецизен дизайн, усъвършенствани производствени процеси, сложни алгоритми за обработка на сигнали и строги техники за компенсиране на грешките. Ключовите аспекти за постигане на висока прецизност включват: оптимизиране на основните принципи на усещане, високо-ефективни материали и прецизни структури, усъвършенствани производствени процеси (като MEMS), ниско-шум, високо-прецизни електронни схеми, температурна компенсация, нелинейност и линеаризация, калибриране и стандартизация, цифрова обработка на сигнали и потискане на смущения и екраниране. Основната идея е задълбочено разбиране и количествено определяне на всички възможни източници на грешки и активно премахване или компенсиране на тези грешки чрез съвместно проектиране на хардуер и софтуер.
В областта на прецизното производство и инспекция се използват високо{0}}прецизни сензори за високо-прецизни измервания на изместване, размери и топография на повърхността, като контактен сензор тип GT2-P12KL- за откриване на микронно ниво.
В областта на контрола и мониторинга на процесите сензорите с висока{0}}прецизност се използват в тежки промишлени среди като химическата и енергийната промишленост за изключително надеждно наблюдение на ключови параметри на процеса като налягане, температура и скорост на потока, като високо{2}}прецизните сензори за налягане от серията PX409 на OMEGA.
